三维激光直写(3D Laser Direct Writing)是一种先进的微纳制造技术,它允许在三维空间内直接利用激光束对材料进行精确的图案化或结构化。这项技术基于非线性光学效应,特别是双光子吸收(Two-Photon Absorption,TPA),可以在低于衍射极限的尺度上实现纳米级别的分辨率,从而制造出具有复杂几何形状和高精度的微观结构。
工作原理
三维激光直写通常使用飞秒激光器作为光源,因为它能够提供极短脉冲宽度的激光,这有助于减少热影响区,并且可以更有效地触发双光子吸收过程。在双光子吸收过程中,只有当两个光子几乎同时被材料中的分子吸收时,才会发生电子跃迁,导致材料局部发生变化。由于这种效应依赖于激光强度的平方,因此它主要发生在激光聚焦点处,使得加工位置可以被限制在一个非常小的体积内。通过精确控制激光焦点在样品内的三维移动路径,就可以实现任意三维结构的构建。
主要特点
高分辨率:能够达到亚微米甚至纳米级别的分辨率。
灵活性强:可以在不改变掩模或模板的情况下快速修改设计,适合研发阶段的原型制作。
适用范围广:不仅限于平面结构,还可以创建复杂的三维结构,适用于各种材料如聚合物、玻璃、金属等。
无掩模工艺:不需要传统光刻技术中使用的掩模版,减少了制备成本和时间。
应用领域
三维激光直写技术已被应用于多个领域,包括但不限于:
生物医学工程:用于制造组织工程支架、微流控芯片及药物递送系统等。
光子学与光学器件:可用于生产光纤连接器、波导管及其他精密光学元件。
微机电系统(MEMS):为传感器、执行器等微小机械装置的制造提供了新的途径。
基础科学研究:为物理、化学、生物学等多个学科提供了研究工具,例如细胞操作平台、纳米天线等。
随着技术的发展,三维激光直写正变得越来越成熟,其应用前景也日益广泛,特别是在需要高精度和定制化的场合显示出独特的优势。
三维激光直写
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